随着电子技术的发展，各类电子电路技术在各种电器中的应用也越来越深入。而使用集电路测试系统进行电器中的微小微电子参量的获取，则能够确保生产的电器产品盾量达标。但在测试之前，考虑到微小微电子参量具有易受干扰的特点，还要使用校准技术进行参量的校准，才能够真正确保电器产品的质量，继而更好的进行电子电路技术的应用推广。

1.集成电路测试系统的微小微电子参量特性

从参量特性上来看，微小微电子的参量具有量值小和易受干扰的特点。一旦系统的外部连接复杂，就容易导致测试系统的工作状态发生改变。但是，如果系统测试状态与原本工作状态并不一致，就将导致系统测量失去意义。所以，还要了解系统微小微电子参量特性，以便通过校准参量确保系统的正常工作。

2.集成电路测试系统的微小微电子参量校准技术

2.1 校准装置的系统结构分析

在校准集成电路测试系统的微小微电子参量时，需要使用专门的校准装置。该装置能够根据微小参量特征实现对参量测量的优化和设计，从而使系统保持较高的稳定性和准确度。从结构上来看，该装置主要由数据采集和数据处理两部分组成。在系统输入端，需要根据电流或电压输入进行电阻网络的配置，从而使负载阻抗和电流-电压转换得到匹配。而通过将输入信号调制到模数转换的最佳范围，则能够实现数字化的增益控制。经过FPGA调整后，可以将模数转换结果传输到DSP中，以便进行结果的分析和处理。所以利用FPGA控制，系统将能够实现增益调整、模数转换、数据通信和数据处理，并且拥有较好的稳定性和工作效率。在对系统数据进行存储时，需要使用FLASH进行校准数据的存储，并且使用EEP-ROM进行采集部分身份和配置信息的存储。从整体上来看，系统使用的模块化设计方式，所以可以根据实际测量需要进行模块的变更，以便更好的完成系统数据的采集。连接电源后，系统会进行身份和配置信息的自动读取，然后进入到相应的测量模式。

2.2 校准装置的软件结构分析

从软件结构上来看，校准装置的软件结构主要由三部分组成，即驱动部分、校准流程控制部分和数字信号处理部分。其中，驱动部分就是装置的驱动软件，可以对个电路模块进行驱动。在系统电路中，自动增益开关、切换开关和数据同步等底层电路模块都由系统驱动软件驱动。而软件能够起到屏蔽底层电路工作细节的作用，并且能够为流程控制提供应用控制接口。校准流程控制软件是装置应用控制接口，能够使装置校准流程要求得到满足。利用软件的上位机显示和控制功能，该软件能够实现上位机通信，并且能够为人机交互的实现提供接口。在装置运行的过程中，应用该软件能够对装置运行进行控制，并且进行状态界面和数据界面的提供。此外，装置的数字信号处理部分就是数字滤波和数字拟合软件，能够使装置的抗千扰能力和信号质量得到提升。

2.3 参量校准的流程分析

从参量校准流程上来看，使用校准装置将先进行电压和电流的测量。在对电压进行测量时，系统将使用开路测量模式。具体来讲，就是先对电路进行初始化处理，然后使电路负载断开。而根据电路信号幅值，系统将完成增益的调整，并且进行电压测量比较。当结果落在合适的区间，系统将输出写寄存器驱动向量，然后利用ADC准换得到的数据信号进行输出寄存器向量的触发。完成转换数据读取后，控制单元会将数据转化到DSP进行处理，然后利用端口将数据传至上位机。在测量电流时，可以采取分流模式和反馈式模式。采取前一种模式，需要进行阻抗匹配，并要求源内阻比测量电路内阻要大，可以进行小电流测量。完成电流测量后，还要进行输出结果板性调整。使用后一种模式，电流将经过I-V转换后进入放大电路，并且需要完成符号位的调整。在对电压电流进行校准时，需要将修正数据写入到装置，并且将其当成是测量参考值而通过将参考值和测量值写入存储器，并且进行曲线的拟合，则能够实现电压的查表修正。

3.结论

总之，使用专门的校准装置进行集成电路测试系统微小微电子参量的校准，可以根据参量特点和装置特殊性实现参量的修正。因此，相信随着相关技术的发展，该类装置将在集成电路测试中得到广泛应用。

作者：尹梦宾（北京工业大学，北京 100022）